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美国Micro-VU Vertex系列测量仪
美国Micro-VU Vertex系列测量仪

美国Micro-VU Vertex系列测量仪

工程师支持
品牌
MicroDemo
产品编号
1293
产品型号
美国Micro-VU Vertex系列测量仪
服务支持
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型号Vertex251HM/HCVertex251UM/UCVertex311HM/HCVertex311UM/UC
XY 精度Uxy=2.0+L/200Uxy=1.8+L/200Uxy=2.6+L/200Uxy=2.0+L/200
Z 精度Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150
XY 重现性2.0μm1.8μm2.6μm2.0μm
Z 重现性2.0μm2.0μm2.0μm2.0μm
XY 加速度500mm/S2
Z 加速度200mm/S2
XY 移动速度250mm/s
Z 移动速度100mm/s
光学尺分辨率0.1μm
量测行程250x160x160mm315x315x160mm
外形尺寸606x800x775mm720x1085x1030mm
重量120kg150kg
承载重量10kg12kg
基座材质铝合金
传动方式Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
电控系统伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆
光学系统&放大倍率6.5:1光學Zoom,20-390x12:1光學Zoom,15-540x6.5:1光學Zoom,20-390x12:1光學Zoom,15-540x
影像&光源红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)
软件InSpec for Windows Metrology Software
工作环境20℃±2°,30-80% 湿度
备注Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm
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