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VIEW MicroLine 300自动化影像测量仪
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工程师支持
品牌
MicroDemo
产品编号
1797
产品型号
VIEW MicroLine 300自动化影像测量仪
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由于该产品已进行多次功能升级和更新迭代,我们不保证VIEW MicroLine 300自动化影像测量仪提供的图片和各项参数等信息均为最新,我们建议您点击此处联系我们的在线工程师为您服务,同时我们也欢迎您电话咨询:!

技术规格:

- 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放

天下釆票免费资料大全- 视场内的测量精度: 0.010µm (用100x物镜)

- 特征尺寸: 视场内0.5µm - 400µm

- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (用100x物镜)<0.005µm on photomasks (用100x物镜)

- 照明: 石英卤素灯, 反射光自动照明

- 低噪音CCD VGA格式摄像头

- 图像处理60帧每秒格:

- 测量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放

- 视场内的测量精度: 0。010µm (用100x物镜)

- 特征尺寸: 视场内0。5µm - 400µm

天下釆票免费资料大全- FOV测量重复性: <0。010µm on wafers (用100x物镜) <0。005µm on photomasks (用100x物镜

- 照明: 石英卤素灯, 反射光 自动照明

- 低噪音CCD VGA格式摄像头

- 图像处理60帧每秒

MicroLine 300的典型应用包括:

l 晶圆

l 光罩

l MEMS

l 微型组件

测量类型:

关键尺寸:

线宽 Linewidth

节距 Pitch

间隙 Spacing

Overlay

Multi-layer registration,Box in box,Circle,Edge roughness,Butting erro

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